產品介紹

小型等離子清洗機TS-PL30MA產品參數：

等離子清洗機的基本構造：

根據用途的不同，可選用多種構造的等離子清洗設備，并可通過選用不同種類的氣體，調整裝置的特征參數等方法使工藝流程實現最佳化。 但等離子體清洗裝置的基本結構大致是相同的， 一般裝置可由真空室、真空泵、高頻電源、電 極、氣體導入系統、工件傳送系統和控制系統等 部分組成。通常使用的真空泵是旋轉油泵，高頻電源通常用13.56 MHz的無線電波。

等離子清洗機工作原理：

等離子清洗是依靠特定物質等離子體中的高 能粒子流沖擊需要清潔的物體表面，產生物理沖擊（如氬等離子體）或化學反應（氧等離子體）來實 現去除物體表面污漬的功能。目前，大多數等離子 清洗系統通過降低反應倉的壓力到 100 Pa 以下， 然后以一定的速度通入合適的氣體并啟動電源來獲得等離子體。

等離子清洗的最大技術特點是，它不分 處理對象，可處理不同的基材。無論是金屬、半 導體、氧化物還是高分子材料（如聚丙烯、聚氯 乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚脂、環氧樹 脂等高聚物）都可用等離子體很好地處理。因此， 特別適合不耐熱和不耐溶劑的基底材料。而且還可 以有選擇地對材料的整體、局部或復雜結構進行部 分清洗。 在完成清洗去污的同時，還能改變材料本身的表面性能。如提高表面的潤濕性能，改善 膜的附著力等，這在許多應用中都是非常重要的。